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薄膜电阻典型特点精度高和低TCR,以及薄膜电阻整体稳定性好

来源:万利隆电子 人气:发布时间:2020-05-22
 
不同于厚膜电阻,薄膜电阻特点是添加高温制造工艺,薄膜电阻通常是使用减法,溅射沉积工艺制造。后续的制造操作用于调节电阻膜以优化高温性能。薄膜电阻的典型特点是TCR低,精度高,通常可用于网络或多个电阻的封装中。选择的薄膜电阻材料通常是镍铬合金或氮化钽。这两种材料都能耐受高熔点,这往往会导致在高温下更少的微观晶粒生长,并具有很高的抗氧化能力——这是在高温下显著的电阻变化的两个潜在来源。
薄膜电阻整体稳定性好
这两种电阻膜在正常工作温度下都具有良好的电阻稳定性和极低的TCR,在高温下也有一定程度的延续。此外,它们在较宽的温度范围内都具有相对线性的TCR曲线。尽管所示数据是针对镍铬合金金属薄膜电阻,但氮化钽材料也具有类似的特性。该图还说明了一个额外的优点,它演示了公共网络(在本例中为7电阻网络)中电阻之间的紧密TCR跟踪或匹配。
 
在高温下,显示了DIP网络中薄膜电阻的TCR。薄膜电阻的一个有趣的方面是,在工作的前100到200小时内,总电阻发生了很大的变化(图5)。各种机制,如氧化,金属层的迁移,或金属扩散,都可以导致这种电阻的变化。 在高温下,薄膜电阻随时间的变化表明,在前100到200小时的操作过程中,总电阻发生了显著的变化。
薄膜电阻整体稳定性好
然而,薄膜电阻的变化率会随着时间的推移而显著降低,这使得电阻在使用过程中的绝对变化率显著降低,方法是将电阻置于高温烘烤环境中,或者超过使用电阻的温度。电阻变化的减少显示了相似的电阻,但是增加了200°C, 148小时烘烤。在这种情况下,薄膜电阻的变化已经减少到超过1000小时接触不到一半,大大提高了电阻的整体稳定性。
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