金属氧化物电阻器在半导体中有哪些优势

来源：万利隆电子人气：发布时间：2020-07-30

金属氧化物电阻器在半导体产业中由于其独特的优势，例如金属氧化物电阻器出色的灵敏度，成本效益，简单的传感机制和易于集成，已被广泛研究并用于检测各种有害，有毒和易爆气体。气体传感特性例如气体响应，选择性，稳定性和响应/恢复速度密切依赖于换能器设计，传感材料以及传感材料在传感器上的沉积。

金属氧化物电阻器应用在传感器的发展有一定的历史，从庞大的多孔小球到厚膜。目前金属氧化物电阻器为高性能气体传感器合成氧化物纳米结构的新策略。氧化物半导体中的气体传感反应包括分析物气体从周围大气向氧化物半导体表面的扩散以及分析物气体与氧化物表面之间的电荷转移相互作用。

在这个过程中金属氧化物电阻器强调了通过微孔，中孔和纳米孔传感膜进行气体传输的重要性，而后者则主要由气体吸附，表面反应以及氧化物半导体表面附近的电荷载流子浓度的变化决定。以上所有决定气体传感特性的参数都紧密取决于氧化物纳米结构的尺寸，结晶度，组成，孔隙率和形态，包括纳米棒，纳米线，纳米片，纳米立方体及其组装的分层，空心和卵黄壳结构。

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