电流感应电阻器采用计算和实验相结合测试

来源：万利隆电子阅读量：2000发布时间：2020-11-12

电流感应电阻器采用计算和实验相结合的方法，对一种低功耗电流感应电阻器的几何结构进行了研究和优化。研究了八种CMOS设计在不同加热器和膜尺寸下的响应和精度，发现电流感应电阻器随着几何形状的变化而变化很大。结果发现，减小加热器的长度可以提高电热效率，减小膜的尺寸可以大大降低电流感应电阻器精确度。

电流感应电阻器的模拟表明，这一效应是由于较高的温度梯度，导致局部较强的自然对流流以上的测量电阻。然而，由于强制对流比自然对流所占比例更高，随着流量的增加，降低的精度消失。相信本文的研究将有助于设计新一代高精度MEMS热流传感器，实现低成本、低功耗的应用。

最后我们考虑电感为L时的响应，这里给出了电流和外加电压之间的关系，电感电路的响应就像电容器一样，可以看到电流与电压的相位不一致。下面以时间相量和波德形式显示了包含单个电感器的电路的阻抗响应。在一个类似的方式，电容器的“电阻”，以电流流动给出感应电抗Xl，它有一个大小和相位，这可以用欧姆定律来预测，欧姆定律告诉我们电路电阻(在这种情况下是Xl)等于欧姆定律。